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為什么說FFU層流罩已成集成電路凈化系統(tǒng)主流方案
發(fā)布時間:2012-01-10 08:14:41   瀏覽:8498

      為什么說FFU層流罩已成集成電路凈化系統(tǒng)主流方案

  根據(jù)潔凈室空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類型:循環(huán)空調(diào)機(jī)配合高效送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU層流罩循環(huán)系統(tǒng)。

  第一種形式在小規(guī)模低等級要求的潔凈室設(shè)計中被廣泛應(yīng)用,對于大面積高等級的潔凈室則存在運(yùn)行成本過高、占用空間過大等缺點(diǎn)。
  第二種形式的設(shè)計可以滿足集成電路制造潔凈室大面積高等級的要求,但運(yùn)行成本較高,并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難,系統(tǒng)升級改造困難,因此操作靈活性很低。

  第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低,而且操作靈活性很高,可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進(jìn)行系統(tǒng)升級和調(diào)整,這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求,因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為最主要的潔凈設(shè)計方案。

  FFU層流罩循環(huán)系統(tǒng)的特點(diǎn)是:整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成,由FFU提供循環(huán)空氣的動力,將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層,靜壓層相對于工藝層為負(fù)壓。此外,還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠務(wù)設(shè)備區(qū)域,包括電力供應(yīng)、氣體和化學(xué)品供應(yīng)、超純水供應(yīng)等。
 
IC制造潔凈標(biāo)準(zhǔn)趨嚴(yán) 廠房設(shè)計強(qiáng)調(diào)低能耗

                                         IC封裝制造潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計強(qiáng)調(diào)低能耗

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