風(fēng)淋室專題 佰倫風(fēng)淋室已榮獲多項(xiàng)國家專利! |
服務(wù)熱線:蘇小姐 181-02663890 黃先生 135-70963007 |
當(dāng)前位置:首頁 > 行業(yè)動態(tài) > 為什么說FFU層流罩已成集成電路凈化系統(tǒng)主流方案
信息中心
產(chǎn)品分類
熱門文章排行
- · 一種自清潔機(jī)構(gòu)的凈化風(fēng)淋室及凈化方法...
- · 用FFU來DIY的空氣凈化器后的感想...
- · 四面環(huán)繞高效風(fēng)淋室使用說明...
- · 南航為車間成功引進(jìn)風(fēng)淋室
- · 計算機(jī)房空氣過濾器系統(tǒng)包含哪幾部分 ...
- · 風(fēng)淋室在金湖新型工業(yè)化產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用...
- · 風(fēng)淋門紅外線自動感應(yīng)吹淋系統(tǒng)有什么特點(diǎn)...
- · 為什么風(fēng)淋室會使用光電感應(yīng)器...
- · 社區(qū)農(nóng)產(chǎn)品市場消毒風(fēng)淋室不可少...
- · 醫(yī)藥工業(yè)潔凈室(區(qū))懸浮粒子的測試方法...
為什么說FFU層流罩已成集成電路凈化系統(tǒng)主流方案
發(fā)布時間:2012-01-10 08:14:41 瀏覽:8498
為什么說FFU層流罩已成集成電路凈化系統(tǒng)主流方案
根據(jù)潔凈室空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類型:循環(huán)空調(diào)機(jī)配合高效送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU層流罩循環(huán)系統(tǒng)。
第一種形式在小規(guī)模低等級要求的潔凈室設(shè)計中被廣泛應(yīng)用,對于大面積高等級的潔凈室則存在運(yùn)行成本過高、占用空間過大等缺點(diǎn)。
第二種形式的設(shè)計可以滿足集成電路制造潔凈室大面積高等級的要求,但運(yùn)行成本較高,并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難,系統(tǒng)升級改造困難,因此操作靈活性很低。
第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低,而且操作靈活性很高,可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進(jìn)行系統(tǒng)升級和調(diào)整,這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求,因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為最主要的潔凈設(shè)計方案。
FFU層流罩循環(huán)系統(tǒng)的特點(diǎn)是:整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成,由FFU提供循環(huán)空氣的動力,將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層,靜壓層相對于工藝層為負(fù)壓。此外,還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠務(wù)設(shè)備區(qū)域,包括電力供應(yīng)、氣體和化學(xué)品供應(yīng)、超純水供應(yīng)等。
第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低,而且操作靈活性很高,可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進(jìn)行系統(tǒng)升級和調(diào)整,這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求,因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為最主要的潔凈設(shè)計方案。
FFU層流罩循環(huán)系統(tǒng)的特點(diǎn)是:整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成,由FFU提供循環(huán)空氣的動力,將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層,靜壓層相對于工藝層為負(fù)壓。此外,還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠務(wù)設(shè)備區(qū)域,包括電力供應(yīng)、氣體和化學(xué)品供應(yīng)、超純水供應(yīng)等。
IC封裝制造潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計強(qiáng)調(diào)低能耗
本文由 層流罩 http://m.nvtransports.com/首發(fā),轉(zhuǎn)載請注明來源!聯(lián)系人:蘇布會-13570963006
上一篇:公司介紹 | 下一篇:傳遞窗在SPF 級實(shí)驗(yàn)動物屏障系統(tǒng)內(nèi)微生物控... |